聚氨酯抛光墊
Sciyea的FSP系列，由聚氨酯發泡制作而成。根據不同的研磨材料，分爲氧化铈填充物、氧化锆填充物、氧化鋁填充物、以及不含磨料的純聚氨酯抛光墊。
- 基本信息
- 厚度：0.5-4.0mm；
- 圓片尺寸：590mm、640mm、820mm、960mm、1050mm、1180mm、1340mm；
- 方片尺寸：590*1400、650*1400、700*1400、840*1700、1000*1000mm；
- 特性
- 使用壽命長、精度高；
- 熱熔膠（背膠）可以根據客戶的特殊要求提供；
- 精度高，适用于工件粗抛；
- 可提供标準開槽或根據客戶需求特殊規格開槽。
- 製品パラメーター
- 基本信息
- 厚度：0.5-4.0mm；
- 圓片尺寸：590mm、640mm、820mm、960mm、1050mm、1180mm、1340mm；
- 方片尺寸：590*1400、650*1400、700*1400、840*1700、1000*1000mm；
- 特性
- 使用壽命長、精度高；
- 熱熔膠（背膠）可以根據客戶的特殊要求提供；
- 精度高，适用于工件粗抛；
- 可提供标準開槽或根據客戶需求特殊規格開槽。
| 型号 | 硬度 | 密度（g/c㎡） | 填充物 | 應用領域 |
FSP66 | 80 | 0.42 | CeO₂ | 精密光學、晶圓、晶體 |
| FSP66B | 85 | 0.43 | CeO₂ | 精密光學、晶圓、晶體 |
| FSP66C | 85 | 0.43 | CeO₂ | 精密光學、晶圓、晶體、LCD |
FSP13 | 66 | 0.35 | CeO₂ | 精密光學、晶圓、晶體 |
| FSP35 | 90 | 0.59 | ZrO₂ | 精密光學、晶圓、晶體、LCD |
| FSP26 | 88 | 0.57 | ZrO₂ | 精密光學、玻璃 |
| FSP57 | 88 | 0.51 | None | 精密光學、石英、半導體基闆 |
FSP20 | 92 | 0.58 | None | 精密光學、晶圓、晶體 |
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