不同的研磨液對藍寶石研磨效果不應相(xiàng)同,而且研磨液對藍寶石晶體研磨效率的提升和表面質量的改善具有一定的良好反應。
藍寶石晶體因其優越的物理、光學性能,在LED襯底材料和固态激光發光介質中運用非常的廣泛,并且将運用到手機面闆上。藍寶石的廣泛運用對它的超光滑無損傷的表面研磨抛光技術提出了更高的要求,但(dàn)藍寶石因其物理、化學性能比較穩定,在加工上也是(shì)很艱難。
在目前的工業上,對于藍寶石的加工需要采用切片、倒角、研磨、抛光等等工序才能加工完成,其中研磨加工的作用是(shì)重中之重,因爲研磨是(shì)工件獲得良好平面度、保證抛光質量和效率的關鍵。單晶藍寶石的研磨一般利用逐級減小研磨液中一種磨料的立徑,來控制研磨的進給量,來獲得較好的表面粗糙度。由于研磨過程中,硬度較大的磨料在工件和研磨盤之間滾軋,容易造成較大的表面損傷層,增加了抛光時間;另外研磨液中磨料利用率低、耗費(fèi)大、還污染環境。在當前,固結磨料由于可依靠凸起的磨料實現(xiàn)材料的微量切除而成爲了高效低損傷加工的有效手段。
在固結磨料加工中,研磨抛光液的化學作用也不容忽視。在利用過程中固結磨料抛光矽襯底中,比較了不同抛光液對材料去(qù)除率和表面質量的影響,發現(xiàn)抛光液組分和pH值得改變對抛光效果具有較大影響,從而可以推斷抛光液與工件表面具有一定的化學作用。
抛光液中存在一種化學物質可以軟化水晶玻璃的表面表層,從而有利于材料的抛光速率的提高。但(dàn)由于藍寶石的高化學穩定性,在詳細的報告中并沒有藍寶石晶片研磨過程中研磨液起到的化學作用。
不同研磨液對單晶藍寶石的研磨抛光效果是(shì)不同的,其中起到的微妙化學作用在無形中影響着藍寶石晶片的抛光效率和表面損傷度。